第91章 再現工程控制論!(第1/2 頁)
同時極紫外光刻機的光路系統要求考慮的因素非常多,因為極紫外光刻機的光子能量非常高,幾乎所有的材料都會吸收極紫外光。
而吸收了極紫外光必然會發熱,發熱就會帶來材料的變形。對於需要奈米級成像的光刻機來說,簡直就是災難,基本就無法使用了。
如果不加控制,光路系統還有被燒燬的風險。
所以極紫外光刻機裡,光源和每一面鏡子的背後都有非常高效的冷卻裝置,把極紫外光照射產生的熱量及時帶走。
最後,光刻機研發真正困難的是成像質量補償。光刻機對光刻圖形的要求是近乎完美的,但裝置的生產是不可能做到完美的,鏡頭使用的材料不可能做到完美。
鏡頭打磨不可能做到完美,鏡頭組裝也不可能做到完美。同時鏡頭材料和支撐材料都必然存在熱脹冷縮的問題。
這些問題都會給最終成像效果帶來誤差,而且很多成像誤差是不斷變化的。
必須透過一系列辦法進行校準和修正,甚至要求透過軟硬體結合的自動化控制來實現實時成像補償,這才是真正的難點。
還需要大量精密控制裝置的支援專利。不僅實現起來非常困難,還要面臨大量的專利陷阱。
這光刻機,本來就是十幾個發達國家,聯合研製出來的一個產品,涉及到的行業之廣,設計到的儀器之頂尖,都是咱們暫時達不到的。
只能說咱們開局太晚了啊!綜合那麼多高階的精密儀器,我們搞不來……”
陳小川聽了之後點點頭,眾人也是聽的雲裡霧裡,但是最終還是知道一個結論,
這光刻機,不好造!
但是陳小川又說:
“李院士說得對,也是說的很全面。這的確是我們的一個不足之處,不,這是我們的很多不足之處。
我們沒有那麼多高階的儀器製造,沒有那麼精密的儀器,裝置,甚至在光學上,我們也比不過卡爾蔡司。
但是咱們華夏人最不缺的就是創新精神,難道說咱們這晶片製造只能依靠光刻機嗎?
沒了張屠夫,咱們就要吃帶毛豬?不,不可能,一定有其他的替代方案。
光刻機的複雜和精密以及小型化是他的一大優點,但是我覺得這也正是他們光刻機的一個缺點。
正是因為他們要把光刻機當做一個商品售賣,所以他們不得不做的精細,做的方便運輸,所以一定要適合運輸,只能做那麼大一點兒~”
聽了這個回答,李院士也是點點頭,然後李院士說:
“是的,小川說的對,光刻機可以說是工業上的一顆明珠,是高階科技的集大成者!!
但是荷蘭生產的光刻機基本上是外貿型的光刻機,產品不是送到鷹醬,就是送到灣灣那邊。
所以在體積上做的不是很大,畢竟要透過海運從荷蘭運到別處。
但是送到我們這裡的光刻機,都不是最新一代的光刻機,都要比最新一代落後一代或者兩代才行,這就是為了讓華夏的晶片產業,永遠落後於鷹醬等西方國家。
這可以說是一個陽謀,但是我們之前沒法破解,因為我們沒有光刻機的核心技術。”
陳小川聽了也是點點頭:
“李院士說的對啊!
但是我這裡要說的是,小,雖然是光刻機的一大特點,但這也是他的悲哀之處!
這同時也是一個沒有廣袤國土,沒有巨大的人口規模,沒有巨大的消費市場的國家的悲哀!
他們沒有那麼大的市場來承擔光刻機大型化,甚至巨型化帶來的後果,但是我們能啊!”
“我們擁有廣袤無垠的國土面積,擁有巨大的人口基數,擁有全世界消費潛力最大的市場!這就讓