第90章 光刻廠？(第2/2 頁)

片設計最佳化，只是第一步，這第二步我還沒說呢！”

眾人的眼光再次投射到這個年輕人身上。

哦？你還有啥石破天驚的設想？

陳小川看到一眾大佬紛紛把目光投到他身上，甚至還帶著一些期許和讚許？

陳小川感到一陣暗爽，爽啊！！

就像小學考了雙百分收到全校表揚一樣，站在講臺上接受全校老師和同學的稱讚。

也像王有勝搶了軍火庫一般，腦袋抬得高高的。

陳小川看向周圍一圈，全是期許的眼睛看著他

“我們的第二個階段……就是關於晶片製造方面的事情，我們要自己幹！”

“光刻機造不了！光刻廠還造不了？”

全場震驚起來，大多數院士還以為又像上次一樣，直接買技術，或者用特殊手段直接去收購了一些光刻機的企業，卻沒想到是直接跳過這一步自己幹！！

李院士很是好奇陳小川的想法，於是問

“哦，小川你有什麼想法？”

錢立忍不住問，陳小川一個車輛工程碩士，能在晶片生產製造方面有什麼想法？

“是啊！你這雙龍集團涉獵範圍也太廣了吧！？這光刻機你們也幹？”

陳小川沒有直接回答，而是問出一個問題

“各位，我想問一下，光刻機的技術難點在哪裡呢？”

一直對於光刻機這一板塊有深刻研究的李院士沉聲說

“在這一點上，我想我還是有發言權的。

光刻機研發最大的難點是光學系統，其實就是光源、還津和反光鋒。光刻機的光學器件難點，並不在鏡片生產上，而在於校準、除錯和成像質量補償上。

先說最高階的極紫外光刻機EUV。極紫外光刻機更困難的一個原因是原有的成熟鏡片完全不能使用，因為所有的材料都會吸收極紫外光。

極紫外光不能再靠透鏡來聚光，只能用反射鏡。要造極紫外光刻機，所有的光路和材料都必須重新設計。

普通的鏡子即使加工再精良，也不能用到極紫外光的反射上。

目前使用的反光鏡必須在表面上鍍上均勻的鉬矽多層高反射率薄膜，這個反射鏡的製作和使用流程非常嚴格。首先鍍膜得均勻，不能含有雜質，而且必須在真空狀態下使用。

其次加工好以後，其表面完整度必須非常高，得達到奈米級。嚴格保證聚光效果，稍有不慎就會導致成像走形。”

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