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第43章 老頭帶回來的壞訊息(第3/3 頁)

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還需要在下一刻精準的停在位置上,不能出現任何差錯,因為這種速度下任何差錯都沒辦法彌補。錯了雖然不至於整片晶圓報廢,但只能重來!”

這是人類在與物理極限做鬥爭呀,現在的光刻機要差很多吧?

林天河問道:“那後世的光刻機是怎麼解決這個問題的?有沒有借鑑意義?”

老頭說道:“這方面的技術思路,最開始使用伺服電機驅動,但是精度不夠。後來改用油壓驅動,又會產生巨大的噪聲和震動。”

“再往後,進步到氣懸浮和磁懸浮。大致思路我知道,但是這個我完全不懂。ASmL的磁懸浮,再搭配量測工具,那是他們的絕招,不會外傳的。”

這東西,老頭不懂,林天河更是不懂。聽名字,大概知道是什麼東西,但是具體是怎麼工作的?鬼知道!

老頭接著說道:“剛才就說到測量工具,這東西你肯定懂,但是重要性你卻不懂!測量的精度,你更是一無所知!早在1930年代,david mann就製作出了微米輪,可以測量1\/1000毫米。”

“1959年,GcA公司收購了david mann創辦的這家機械測量儀器公司,成立了事業部。1961年,david mann公司釋出了現代意義上的第一臺光刻機,型號971。從這裡你就可以看到測量精度的重要性!”

測量工具的重要性,林天河能夠理解,但是要精密度要多高,老頭沒說。

比如你生產一臺光刻機,你怎麼知道能達到什麼光刻精度?

安裝時,地面的平整度,物鏡與掩膜板的距離,掩膜板與工作臺的距離,工件運送矽片的位置,全都需要測量。

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