第43章 老頭帶回來的壞訊息(第3/3 頁)

還需要在下一刻精準的停在位置上，不能出現任何差錯，因為這種速度下任何差錯都沒辦法彌補。錯了雖然不至於整片晶圓報廢，但只能重來！”

這是人類在與物理極限做鬥爭呀，現在的光刻機要差很多吧？

林天河問道：“那後世的光刻機是怎麼解決這個問題的？有沒有借鑑意義？”

老頭說道：“這方面的技術思路，最開始使用伺服電機驅動，但是精度不夠。後來改用油壓驅動，又會產生巨大的噪聲和震動。”

“再往後，進步到氣懸浮和磁懸浮。大致思路我知道，但是這個我完全不懂。ASmL的磁懸浮，再搭配量測工具，那是他們的絕招，不會外傳的。”

這東西，老頭不懂，林天河更是不懂。聽名字，大概知道是什麼東西，但是具體是怎麼工作的？鬼知道！

老頭接著說道：“剛才就說到測量工具，這東西你肯定懂，但是重要性你卻不懂！測量的精度，你更是一無所知！早在1930年代，david mann就製作出了微米輪，可以測量1\/1000毫米。”

“1959年，GcA公司收購了david mann創辦的這家機械測量儀器公司，成立了事業部。1961年，david mann公司釋出了現代意義上的第一臺光刻機，型號971。從這裡你就可以看到測量精度的重要性！”

測量工具的重要性，林天河能夠理解，但是要精密度要多高，老頭沒說。

比如你生產一臺光刻機，你怎麼知道能達到什麼光刻精度？

安裝時，地面的平整度，物鏡與掩膜板的距離，掩膜板與工作臺的距離，工件運送矽片的位置，全都需要測量。