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第43章 老頭帶回來的壞訊息(第2/3 頁)

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—這!”林天河這了半天,也想不出合適的詞來形容這麼扯淡的情況。

老頭滿臉無奈,搖著頭說道:“我能夠畫出圖紙,你說有什麼用呀!他們完全造不出來呀!”

林天河一臉疑惑,這都有圖紙了,怎麼會造不出來呢?

沒什麼道理吧?畢竟現在的光刻機,沒有那麼複雜吧?

後世的光刻機有幾萬個零部件,現在才哪到哪呀?

不等林天河發問,老頭接著說道:“光刻機原理其實很簡單,就是把掩膜板的圖紙投射在光刻膠上。你可以看成是,用光去照射一張紙上面、切割出來的一條條隙縫,漏出來的光投射到光刻膠上。光刻膠感光,變得容易腐蝕。”

林天河想了想說道:“那不就是有些工人先刻出模子,再往上面塗抹顏料,就出現圖形嘛!這個我懂!”

老頭說道:“那個模子,就類似掩膜板。我先說鏡頭,光越細,就越容易出現干涉條紋,這個你上中學應該學過。但是光刻機需要高精度,就必須使用短波長的光,現在基本都是用的汞光源的紫外光,就是讓光不產生或者少產生干涉條紋。”

“但這還是不夠,還要用到鏡頭,透過幾塊、十幾塊、甚至幾十塊透鏡組合,讓光線更好的聚焦。這就要求鏡頭極其光滑,打個比方,如果把一塊鏡頭擴充套件到地球這麼大平面,不能有一個幾厘米高的土堆!”

“以後隨著精度的提高,對鏡頭的要求,也會隨之提高!同時,玻璃雖然透光,但是鏡頭多了,光線也會衰減,這就需要透光率更高的玻璃!”

林天河目瞪口呆,他原來知道鏡頭技術含量很高,但沒想到這麼高!

這鏡頭怎麼拋光?

打磨鏡片的師傅手工拋光?

老頭卻猜到了林天河所想,說到:“你想的沒錯,他們現在是使用老師傅手工拋光!那臺光刻機上面的鏡頭,是從幾百片鏡片中挑出來的!”

“我原想,他們既然能夠生產3微米的光刻機了,那鏡頭應該不是問題,實際上卻是大問題!我之前覺得能手搓光刻機,也真夠狂妄無知了!”

老頭滿臉沮喪,他又何嘗不是心裡拔涼?但老頭還沒說完,接著又說到:“不光是鏡頭,工件臺的問題也很大!步進投影式光刻機,採用的是縮放投影的方式工作。因此曝光區不再是整個矽片,而是其中的一小塊面積,所以每曝光一次,矽片就必須移動到下一個區域再曝光,直到全部完成。”

“這樣好處是提高了光刻的解析度,但是曝光工作大量增加,這就是以犧牲速度換來更高的精度。”

“工件臺的定位精度影響對準精度,運動的速度決定了光刻機每小時的矽片曝光量,光刻機的精度和效率全靠工件臺的技術水平。 ”

“現在青華那臺光刻機,是要精度沒速度,要速度沒精度。他們現在是需要停下來,手動調節,這你敢信?”

林天河原來哪知道這個,他之前聽過雙工件工件臺這個名詞,上市的華焯精創他還買過股票。

但是這工件臺是怎麼工作的,他是一無所知。

現在總算明白了,這就相當於春節賣對聯,寫一個字,往上面拉一下紙再寫下一個。拉的位置不準,字寫錯位置,整張紙就廢了。拉的太慢,一上午寫不了幾幅。

當然,人沒有這麼笨,還可以透過手臂調節,寫到正確的位置上的,機器卻不行。

但是青華的光刻機是手動調節?

光刻一個位置後,透過手柄移動位置?

一個位置調節要幾分鐘?幾十分鐘?還是幾個小時?

老頭又說道:“工件臺的精度和速度要求極高,需要瞬間急加速然後瞬間急停。後世的工件臺按照瞬間的加速度算,已經超過火箭發射升空的速度,而且

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